為滿足如智能手機(jī)鏡頭的零部件及模具等超高精度的計(jì)量檢測(cè)需求，?？怂箍低瞥鯬MM Gold 07.07.05以實(shí)現(xiàn)微小精密零部件的亞微米級(jí)檢測(cè)。

亞微米級(jí)的超高精度和緊湊的尺寸，使得PMM Gold 07.07.05可以完成微小零部件的檢測(cè)，并占用較小的測(cè)量場(chǎng)地。應(yīng)用多測(cè)頭技術(shù)，通過低測(cè)力的接觸式測(cè)頭和非接觸式測(cè)頭，完成易變形，易損傷零部件的安全檢測(cè)。固定橋架及移動(dòng)工作臺(tái)確保了超高精度和高動(dòng)態(tài)性能，主動(dòng)減振提高了穩(wěn)定性，高達(dá)5nm的系統(tǒng)分辨率保證了極高的定位精度和重復(fù)精度。